2、产业化进程缓慢

　　十二五期间，尽管在国家重大专项的支持下，一些关键设备进入了大生产线，并经过了验收，但在新建的生产线上，使用单位有较大的风险，在与进口设备的竞争中，国产设备很难挤得上去。特别是对大规模集成电路芯片制造设备国产化缺乏信心，使已经在生产线上验收的国产设备产业化进程艰难。目前，一些设备制造单位，已经将集成电路设备成果应用到风险相对低的LED等其它半导体器件领域。

　　3、缺乏领军的高技术人才

　　一些技术难度大的关键设备，由于缺乏领军的高技术人才，久攻不下，同时也影响了集成电路生产线设备国产化的推广。

　　(三)我国集成电路装备制造业发展设想

　　1、对国家投资的集成电路建设工程项目，要提出集成电路生产线设备国产化的要求，推广已经在集成电路大生产线上验收过的国产设备。

　　2、依托国家科技专项集成电路关键装备科技项目，对承担项目的单位设备产业化目标要提出更高的要求，进一步推进集成电路产业化的进程。

　　3、鼓励和支持积极使用国产集成电路设备的集成电路生产企业，对使用首台(套)集成电路关键设备给予优惠政策，以减少承担的风险。