挖贝网?3月8日消息，上海新阳（300236）订购的ASML-1400光刻机今日进入合作方北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司场地，后续将进行安装调试等相关工作。
上海新阳表示，公司采购的 ASML 干法光刻机设备顺利交付，对加快 193nm ArF 干法光刻胶产品开发进度有积极影响，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，加快落实公司发展战略，提高公司抗风险能力和可持续发展能力。
来源：挖贝网 发布时间：2021-03-09 07:00:19
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